AMAT parts

Please use “Ctrl” and “F” keyboard 
to search the Part below with the Part Number.

 DESCRIPTIONPART No. 
ACTULATOR ASS'Y
0010-01412  
ACTULATOR ASS'Y 0010-01412  
 ACTULATOR COVER0040-38994 
 ACTULATOR COVER 0040-38994
ADAPTER DXZ TOP MOUNT 0021-06043 
ADAPTER GAS LINE DXZ  0040-01783 
ADAPTER VECTRA IMP 0040-22274 
ADAPTER VECTRA IMP 0040-22274 
AL Chamber Clear Lid  0020-23106
 AMAT MXP GEN2 POLYIMIDE ESC0090-09298 
 AMAT ROBOT BLADE 0020-26961 
 AME FORELINE REDUCER0040-35487 
 ASSY P-CHUCK 200MM CIP 99 ENHANCED0010-17146 
Base Plate 0020-09881 
 BASE PLATE EPi CHAMBER0040-35132 
BLOCK GAS FEED ULTIMA 0020-04993 
Block Plate (Chamber Lid)  0020-10186
BLOCKE PLATE(IMO) 0020-10936 
 BUFFER ROBOT BLADE0040-89620 
C-5200 ACTULATOR ASS'Y 0010-01412  
Cathode 3700-01710 
Cathode  3700-02137
 Cathode 3700-02965
 Cathode 3700-02965
 Cathode 3700-01823
 Cathode3700-01234 
 Cathode 3700-01723
 Cathode 3700-01534
 Cathode3700-01381 
 Cathode 3700-02154
 Cathode3700-02153 
 Cathode3700-02323 
 Cathode3700-01094 
 Cathode3700-01036 
 Cathode 3700-02141
 Cathode3700-02984 
 Cathode3700-02329 
 Cathode3700-02678 
 Cathode3780-02257 
 Cathode 0020-31064
 Cathode0040-18078 
 Cathode 3700-01121
 Cathode 0200-00367
 Cathode 0620-01757
 Cathode 0040-05887
 Cathode 0200-18090
 Cathode 0200-00370
 Cathode0040-18208 
 Cathode0190-18430 
확대
Cathode Base Extension
0020-32046
CATHODE LINER
0021-13430 
CATHODE LINER  0040-02609
CATHODE LINER RING 0020-31774  
 CATHODE LINER RING0020-31774  
CATHODE, ESC, OXIDE ETCH 0040-09675 
CHAMBER 0040-09893 
CHAMBER LID  0040-39619
CHAMBER LID  0040-39619
 Chamber Lid Assembly 0021-09007 
 CHAMBER LOWER0240-00719 
 CHAMBER LOWER0240-00719 
CHAMBER STD 200MM 0040-09094 
CHAMBER STD 200MM(BW)  0040-09136
 CHAMBER STD 200MM(NIT)0040-00221 
CHAMBER WALL 0040-09723 
 CHAMBER WALL (METAL)0040-09893 
CHAMBER WALL (METAL) 0040-09893 
 CHAMBER WALL LINER(OUT) 0020-34694
CHAMBER WALL LINER(OUT) 0020-34694 
 CHAMBER(OUT) LINER0040-33998 
 CHAMBER(OUT) LINER0021-10223 
 CHAMBER(OUT) LINER 0021-10223
 CHILLER 15KW SEMI F-47 SACVD0190-27732 
CHTHODE LINER 0020-34695 
CHTHODE LINER 0020-34695 
 CHUCK ASP 200MM TOP MOUNT TYPE0040-37732 
 COATED,GROUND,LASED,TESTEDPEDESTAL,DUAL0041-28347 
 COOL DOWN FLANGE0040-20133 
COOL DOWN FLANGE 0040-20133 
Cover Plate 0020-09610 
Cover, screw, Quartz cathode Liner,300mm  0200-01288
D12P TURBO MOLECULAR H2 TMP-H3603 3620-00376 
DEGAS/ORIENTER (PLATEN) CHUCK 0020-22414 
DOOR SLIT LINER 0021-06092 
 DPS COVER(POLY)0021-00540 
 DPS COVER(POLY)0021-00540 
 DPS LOWER COVER ASS'Y 0021-36626
 DPS LOWER COVER ASS'Y0021-36625 
 DPS LOWER COVER ASS'Y0021-36625 
 DPS LOWER COVER ASS'Y0021-36625 
 DPS LOWER COVER ASS'Y0021-36626 
DPS POLYIMIDE ELECTROSTATIC CHUCK ENHANCED POLYMER ESC 0041-33300 
 DPS UPPER  CHAMBER(METAL)0021-09601 
DPS UPPER  CHAMBER(METAL) 0021-01421 
DPS UPPER  CHAMBER(METAL) 0021-01421 
DPS UPPER  CHAMBER(METAL)  0021-09601
DPS UPPER  CHAMBER(POLY) 0020-33806 
DPS UPPER  CHAMBER(POLY) 0020-33806 
 E-MAX CATHODE0040-03264 
확대
E-Max CATHODE LINER
0040-34866
E-MAX CHAMBER
0040-34865
E-Max CT+ Wall Liner   0040-90491 
 E-Max Wall Liner 0040-03265 
EOP BRACKET(EOP) 0021-37053 
ESC ASSY 200MM DUAL ZONE EMXP+ 0040-39990
 ESC ASSY CERAMIC 200MM DPS MTAL0090-35133 
FACE PLATE 0020-10119 
FACE PLATE 0021-01598 
 FACE PLATE (TEOS)0020-10771 
 FI Robot O/H (GT)0190-38783
FI Robot O/H (Kawasaki) 0190-16622 
FI Robot O/H (SE) 0190-24965
FI Robot Track O/H(Kawasaki) 0190-11281 
FI コントローラー(GT) 0040-36095 
FLANGE BASE ESC 0020-31627 
 FRONT COVER0020-38663 
FRONT COVER 0020-38663 
FX Robot　O/H 0190-17472 
 G.D.P 8"0020-31493 
GAS BOX 0040-32073 
 GAS BOX0040-61266 
GAS BOX ANODIZING(TEOS) 0040-09095 
GAS BOX MOUNTING PLATE 0040-09323
 GAS BOX(DXZ TEOS)0021-09760 
 GAS BOX(MIX)0040-02520 
GAS DISTRIBUTION PLATE 0020-32259
GAS FEED COVER FOR DPS METAL 0020-33805 
GAS FEED COVER FOR DPS METAL 0020-33805 
 GAS INNER BRACKET(METAL)0020-33804 
 GAS INNER BRACKET(METAL)0020-33804 
Gas Insert 0200-05878 
 GAS MANIFOLD INPUT(IMO)0020-30681 
 GAS MANIFOLD OUTPUT MIX0021-10296 
 GAS OUTER BRACKET0020-33808 
 GAS OUTER BRACKET0020-33808 
 GAS-BOX0021-09761 
GEN FLUORINE 208VAC 3PHASE W/ENHANCED ARGON IGNITI 0920-00131


GENERATOR, RF PLASMA, ENI 2MHZ/11KW 0190-33637 
HEATER BASE PLATE 0040-00906 
 HEATER CONNECTER BASE0040-01075 
HOOP,200mm 0021-19495 
IN PUT MANIFOLD(대) 0020-34736 
Injctn Valve 0242-00996 
INSERT MIXING BLOCK 0021-06044 
 IPS ESC (WAS 0010-38444) 0010-39903
iPUP2 0190-36237 
 LAMP MODUL 0010-09337
 LF Generator 0190-17159
 LID PLATE SIN,DXZ0021-09787 
확대
LID Quartz, 300mm, DPN Plus 0200-04996
LIFTER 200mm WAFER ORIENTER 0020-75988 
LIFTER 200mm WAFER ORIENTER  0020-75988
LOAD LOCK DOOR PLATE 0020-75041 
LOAD LOCK DOOR PLATE 0020-75041 
LoadLock Housing(A)/SIDE RECIVER 0020-23981 
LoadLock Housing(A)/SIDE RECIVER 0020-23981 
LOADLOCK HOUSING(B) 0020-23981 
 Lower Ch3700-03682 
Lower Ch3700-02322 
 Lower Ch3320-01057 
 Lower Ch 3700-02721
 Lower Ch0020-18269 
 Lower Ch3700-01635 
 Lower Ch3700-02321 
 Lower Ch3700-01346 
 Lower Ch3700-01035 
 Lower Ch3700-02330 
 Lower Ch3700-02330 
 Lower Ch 3440-00087
 Lower Ch0020-40190 
 Lower Ch3700-02352 
 Lower Ch3700-02322 
 Lower Ch3700-01219 
 Lower Ch3700-02325 
 Lower Ch3700-02329 
 Lower Ch 3700-02327
 Lower Ch 3700-02327
 Lower Ch3700-02327 
 Lower Ch3700-01389 
 Lower Ch3700-01087
 Lower Ch3700-01527
 Lower Ch0010-18129 
Lower Ch
0010-13524
 LOWER CHAMBER LINER(METAL)
0040-81155 
LOWER CHAMBER LINER(POLY) 
0040-43977 
LOWER LINER 
0021-42764 
 LOWER LINER WITH SPOOL DPS
0041-08152 
 main frame0020-40126 
MANIFOLD IN PUT (대)
0020-31035  
MANIFOLD INPUT 
0040-01834 
 MANIFOLD INPUT(DXZ TEOS)
0020-34736 
MANIFOLD INPUT(대) M/F 
 0020-09602
MANIFOLD OUT PUT (소) 
0020-34840 
 MANIFOLD OUTPUT
0040-53913 
MANIFOLD OUTPUT(L) 
0040-47724 
MANIFOLD OUTPUT(R) 
0040-47723 
 MANIFOLD WATER FITTING
 0020-10135
MANIFOLD(대) 
0040-01618 
MANIFOLD,WATER PLATE  0020-10135 
확대
MANIFOLD-OUTPUT(小) 0020-10134 
METAL FACE PLATE 0020-10123
MOUNT RING 0040-03713 
MOUNT RING 0040-03713 
MXP  POLY LINER  0021-09835
Mxp Poly (bottom)  0021-09835
 MXP+EP ESC ASSY 200MM NOTCH, 1 MIL0041-34688 
MXP+EP ESC ASSY 200MM NOTCH, 1 MIL (NEW STYLE ESC FOR MXP+) 0041-34688 
OZONE GENERATOR  AX8407A  SUPER HI-CON W 0190-27543 
OZONE MONITOR  API M452 WITH UVP LAMP 0920-00013 
PEDESTAL ESC TESTED ASSY 200MM NOTCH  0040-99998
PN: 0040-77771 DPS METAL CERAMIC ESC 0040-77771 
POLY LOWER LID(SSGD)  0020-34297
 PUMPING PLATE0020-30983 
 PUMPING PLATE0020-30602 
Quartz insulator 0200-04378 
 Quartz ring W/step 300mm 0200-04377
REPLACEMENT CHUCK FOR S20, AME 5000  0090-07906 
REPLACEMENT CHUCK FOR S3, AME 5000 0010-46958 
 RF BIAS MATCH 13.56 MHZ, 10 KW0190-30486 
 RF　Gen0540-00054 
 RF　Gen0190-18277 
 Robot blade Quartz 300mm0200-03651 
 RPS 3L　O/H0190-33018 
RPS PS (15L) 0190-27959 
 RPS PS (15L)0190-27958 
 RWK AMAT SOURCE BUSHING REFURBISH0041-11324 
 SCREEN(POLY)0021-13434 
SHAFT REMOVABLE THROTTLE VALVE 0020-32117 
SHELL ASSY 200MM NOTCH2 MXP+RECONDITIONED 0010-10327 
SHIELD 6"  0020-26823
SHIELD 6"  0020-26823
 SHOWER HEAD 0021-03637 
 SINGLE GAS REED BLOCK(RPS)0040-62900 
SLIT DOOR 0020-20340 
SLIT DOOR 0020-19002
SLIT DOOR  0020-19002
SLIT DOOR ASS'Y 0020-19002  
 SLIT DOOR LINER0040-50414 
 SLIT DOOR LINER0020-63668 
 SLIT DOOR LINER0040-41703 
 SLIT DOOR LINER0040-03260 
SLIT V/V LINER(BUFFER) 0020-19003 
 SLIT V/V LINER(Chamber) 0021-09718
SLIT VALVE LINER  0020-76301
SMC Chiller 3310-00049 
Spectrum 10513-00 0190-33638 
SPOOL (EXHAUST) 0021-04793 
 SSGD0020-34297 
SSGD LID 0020-34297 
확대
SSGD LID 0020-34297 
SUPER-E CATHODE LINER 0040-02609  
SUPER-E CHAMBER WALL LINER 0040-33998 
SUPPORT PEDESTALL 0020-38055 
SUPPORT PEDESTALL 0020-38055 
 SUS FLEXTUER 0040-77343
SUSCEPTER HOUSING GRIP EPI SHAFT  0020-64327
THROTTLE V/V ASS'Y 0010-30135 
THROTTLE V/V HOUSING  0010-39896
TILT HOUSING,LEFT  0020-23152
Tube, External Tapered 0020-30198 
 ULTIMA GAS DISTRIBUTION0040-04650 
Upper Ch0040-04650 
Upper Ch0200-01006 
Upper Ch 3700-02329
Upper Ch 3700-02329
Upper Ch3700-02365 
 Upper Ch3700-02365 
 Upper Ch0020-18536 
 Upper Ch3700-02945 
 Upper Ch0020-18899 
 Upper Ch3700-01953 
 Upper Ch3700-01714 
 Upper Ch 0200-18093
 Upper Ch 0200-01009
 Upper Ch0190-24885 
UPPER CHAMBER  0040-31953
 UPPER CHAMBER0040-31953 
 UPPER CHAMBER LINER(METAL)0040-88340 
UPPER CHAMBER LINER(POLY) 0040-43978 
 VDE MOUNTING RING0040-02954 
VHP Robot 0190-25011 
 VHP Robot　O/H 0010-23246
WALL LINER 0040-34865 
WALL LINER 0040-88721 
WTM ESC CHUCK 0040-18219 
 ステージヒーター(TEOS/SiH4)0010-33992 
 ステージヒーター(高生産性NSG)0920-00139 
 ヒーターベローズ0041-01669 
 ―0190-15079 
 3020-00573 
 1200-01326 
 3870-02330 
 3870-03045 
  0190-13449
 1270-00212 
  0015-09171
  0090-03861
 0100-01321 
 0100-00396 
확대
 0190-18278 
 0190-18278 
 3700-01134 
 3700-01426 
 3700-01426 
 3700-01136
 3700-01057 
 3700-01690 
 3700-02355 
 3700-02262 
 3700-02262
 3700-02829 
 3700-02829 
 3700-01275 
 3700-02352
 3700-02366 
 3440-01037 
 3700-02063 
 3700-01536 
 3700-03050
  3700-02025
 3700-01234 
 0020-10891 
 0020-18294 
 3080-01063 
 3700-03049 
 0140-18118 
 0150-04800
 5070-00011
 1010-01065 
 1270-01167 
 1270-01166 
 1270-01169 
 1270-01170
 0020-13048 
 0190-70070
 0190-70075 
 3780-01107
 0010-36738 
확대

Contact us (sales@da-semi.com) 
for the availability and more info.